摘要 (Abstract)：

石墨烯这类二维结构本身缺陷极少，而其他各类过渡金属硫族化合物（TMD）存在缺陷，这类缺陷会限制其制备更大尺寸半导体器件。横向力显微镜（LFM）与导电原子力显微镜（cAFM）可分别用于观测表面缺陷与亚表面缺陷。随着原子力显微镜（AFM）技术发展，正交相位差分干涉式技术QPDI的产生，可过光学干涉读取悬臂梁位移，将位移探测推进到亚飞米（sub-femtometer）量级，远低于传统方案的噪声底，可用于表面结构与动力学研究的定量、高速工具。QPDI技术将有助于推进二维材料（如石墨烯、过渡金属硫化物）中应用进程：在极低成像力下表征本征褶皱与应变场、测绘局部纳米力学与摩擦性质、探测热振动与相变，以及研究层间耦合与缺陷。当前挑战与未来方向，如 AFM 与时间分辨、多频测量的结合，将指向揭示低维系统中隐藏的结构与动力学。